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真空蒸鍍膜玻璃法的種類

文章出處:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-10-15 09:12【

  為了使蒸發(fā)材料氣化,在真空蒸發(fā)過程中,大多數(shù)蒸發(fā)材料都必須在1100~1750C溫度下進(jìn)行蒸發(fā),因此,必須采用各種加熱方法將蒸發(fā)材料加熱,通常把真空設(shè)備中對(duì)蒸發(fā)材料進(jìn)行加熱的零件稱為蒸發(fā)源。蒸發(fā)鍍膜的蒸發(fā)源有多種形式,如電阻加熱源、電子?xùn)|加熱源、高頻感應(yīng)加熱源等,大面積玻璃基片蒸發(fā)鍍膜常用電阻加熱源。


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