鍍膜玻璃生產原理
鍍膜玻璃生產技術目前我國實際生產當中,幾乎所有鍍膜膜方法都可以生產陽光控制鍍膜玻璃,以其他如真空蒸鍍法、主要以在線CVD工藝方法和磁控濺射工藝方法兩種為主,這主要介紹采用在線CVD工藝生產硅質膜玻璃。
鍍膜玻璃生產原理
在線CVD制備硅質膜技術是以硅烷、乙烯為原料,浮法錫槽為制備硅質膜提供了適合的溫度和還原性氣氛。硅烷、乙烯和氮氣按一定的比例進人安置在玻璃板上面的反應器,并以穩定的層流方式流過玻璃板表面,這時,硅烷借助反應器的特殊結構,并在還原氣氛的條件下,溫度超過400C時開始分解,形成的產物是無定形硅,當溫度超過600C時,形成多晶硅。多晶硅沉積在玻璃表面形成硅質膜層,同時硅烷反應后產生的氫被乙烯吸附,生成乙烷和甲烷。這些多余氣體和呈褐色的多余硅質粉一起從反應器兩側的排氣孔排走
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