將襯底放置于真空中會促使揮發(fā)雜質(zhì)的蒸發(fā)。這種方法的效果與襯底在真空中保留時間的長短、溫度、污染物的類型及襯底材料有關(guān)。在室溫高真空條件下，局部壓力對解吸的影響是可以忽略的，解吸是由加熱產(chǎn)生的。加熱玻璃表面促使吸附的水分子和各種碳?xì)浠衔锓肿拥慕馕饔糜胁煌潭鹊脑黾?，這與溫度有關(guān)。外加溫度在100~850C，需要加熱的時間在10~60min。在超高真空下，為了得到原子級清潔表面，加熱溫度必須高于450C才行。對于較高溫度襯底上淀積膜(制備特殊性質(zhì)的膜)的情形，加熱清洗特別有效。但是由于加熱的結(jié)果，也就會發(fā)生某些碳?xì)浠衔锞酆铣奢^大的團粒，并同時分解成炭渣。然而高溫火焰處理(如氫-空氣火焰)效果很好，雖然這個過程中表面溫度僅約100C，火焰中存在著各種離子、雜質(zhì)及高熱能分子。-般認(rèn)為，火焰的清潔作用與一種輝光放電作用相類似，在輝光放電中，離子化的高能粒子撞擊待清潔表面。